rk000000186

Рис. 20.6. Схема устаноѳки пля получения покрытий злектротермическим испарени- ем и конденсацией паров в вакууме. 7 - злектроизолирующее основание каме- рьі; 2 - злектроп высокого напряжения цля десорбции газов; 4 - поворотная заслонка; 4 - изделия; 5 - камера; 6 - испаритель. денсацию мэтериала покрытия. Этим спосо- бом можно наносить на стекло алюминие- вые покрытия (зеркала, елочныеукрашения, изделия технического назначения). Металлические, оксидные, нитридные и другие сложньіе покрытия на стекле мож- но получать газоразрядными способами, наибольшее распространение из которых получил способ катодного распыления. Центральной частью установок является си- стема катод - анод (рис. 20.7). Распыляемый металл крепится на катоде, либо сам является катодом, а на аноде помещают изделия, подлежащие напылению. Катоп распыляется в тлеющем разряде под действием ударов положительных ионов инер- тных газов, водорода и других химически нейтральных ионов. При добавке реак- тивного газа, взаимодействующего с распыляемым металлом можно получать раз- личные сложные покрытия (теплоотражающие, теплопоглощающие, электропро- водящие, декоративные и т.п.). Так, например, при титановом катоде и добавлении к инертному газу азота, на стекле получается покрытие из нитрида титана, которое в зависимости от толщины может выполнять функции либо светопоглощающего (светоотражающего) покрытия (листовое стекло), либо декоративного, имитирующего золото (бы- товые и декоративные изделия). Рассмотренны- ми вьіше способами можно также получать на стекле прозрачные электропроводящие покрытия на основе 5п02, иекоративные иризирующие и другие покрытия. Рис. 20.7. Схема вакуумной установки катодного распыления 1 - зкран; 2 - катоп; 3 - изделие; 4 - аноп. насосу 437