rk000000186

Поэтому для нужд полупроводниковой техники и других целей разработаны способы получения безгидроксильного особо чисто- го стекла. Один из способов - плазмохимический синтез - основан на прямом окислении тетрахлорида кремния в кислородной низ- котемпературной плазме: 5ІСІ4+ 0 2 5 і 0 2+ 2СІг Способ заключается в том, что парогазовую смесь подают в факел низкотемпературной кислородной плазмы, создаваемой высокочастотным плазмотроном; образующийся тонкодисперсный диокисид кремния конденсируется и плавится на подложке, обра- зуя блок кварцевого стекла. На современных установках, обору- дованных устройствами для нейтрализации хлора и питающихся от высокочастотных генераторов, наплавляются блоки массой до 150-200 кг. Комбинированнный способ заключается в напылении особо чи- стого диоксида кремния на графитовую оправку в процессе паро- фазного синтеза с последующим остекловыванием в электричес- ких вакуумных печах при 1600-1650°С. Этим способом можно по- лучать как массивные изделия, так и непосредственно тигли и чаши диаметром до 250-300 мм. Легированное стекло. Наибольшее применение получило стек- ло, легированное 9-10% Т і0 2. Это стекло имеет практически нуле- вой коэффициент термического расширения, что делает его неза- менимым материалом для изготовления крупногабаритных опти- ческих деталей, в частности, астрозеркал. Вместе с тем, стекло, легированное Т і0 2, а также оксидами европия и олова, является светофильтром, задерживающим ультрафиолетовое излучение в области 180-300 нм. Легированное стекло с различными специаль- ными свойствами содержит оксиды ІЧсІ, Ре, Со, ІЧі, Мо, Сг, АІ и дру- гих металлов. Непрозрачное стекло представляет собой белый, просвечи- вающий в тонких слоях материал. Непрозрачность обусловлена на- личием в массе стекла многочисленных мелких газовых пузырей размером от 0,003 до 0,3 мм, рассеивающих свет. Сырьем для про- изводства непрозрачного кварцевого стекла служат высококаче- ственные кварцевые пески или жильный кварц. После обогаще- ния пески содержат 99,6-99,7% 5ЮГ Размер зерен составляет в сред- нем 0,2-0,35 мм. Заготовки наплавляют в электрических печах сопротивления с графитовыми стержнями. Печи относительно про- 395