rk000000186

единения) атомы вешества, которые осаждаются на подложках (по- верхности стекла), образуя соответствующее покрытие. К газу, обес- печивающему эффективное распыление катодной мишени может быть добавлен реактивный газ, образующий соответствующие со- единения с материалом мишени. За счет этого, распыляя металл в атмосфере, содержащей азот или кислород можно получить плен- ки соответственно нитрида или оксида этого металла. Так, напри- мер, катодное распыление титана в атмосфере азота позволяет получить покрытие на стекле из нитрида титана. Способ катодного распыления включает следующие разновидности: магнетронный, дуговой (на постоянном токе), высокочастотный (на переменном токе). При магнетронном распылении эффективность процесса повышается за счет управляемого магнитного поля, создаваемого магнитами встроенными в катод. Возможность управления током через катод, газовой атмосферой, температурой подложки и дру- гими факторами позволяет с высокой точностью получать требуе- мые характеристики покрытий (металлических, оксидных, нитрид- ных и т.п.). Магнетронное распыление является основным техно- логическим процессом в получении теплоотражающих стекол для строительства и транспорта, стекол с электропроводящими и анти- статическими покрытиями, защитных экранов для компьютеров, зеркал с односторонней прозрачностью, оптических приборов и других изделий. Однако эффективность процесса при распылении диэлектрических мишеней или реактивном получении диэлектри- ческих пленок снижается из-за накопления мишенью электричес- кого заряда. Избежать этого позволяет подача между катодом и анодом переменного напряжения высокой частоты. Эта разновид- ность катодного распыления используется для длительного воспро- изводимого нанесения диэлектрических пленок (АІ2Оэ, 5іОг, Е г02, 5і3Ыд и др.). Применяется при получении компьютерных экранов, оптических приборов и других изделий. Закаленные стекла Виды и характеристики. Закаленное строительное и техничес- кое стекло обладает в 4-5 раз большей механической прочностью на удар и изгиб, чем отожженное. При разрушении рассыпается на множество мелких осколков (до 100 мм2) с тупыми краями. Пред- назначено для остекления высотных зданий, автомобилей, авто- бусов, железнодорожных вагонов и других технических целей. Плос- 226 15*